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        當前位置:首頁產品中心光譜系統顯微缺陷膜厚OPTM 系列顯微分光膜厚儀

        顯微分光膜厚儀

        產品簡介

        OPTM 系列顯微分光膜厚儀
        測量項目:

        ? 絕.對反射率測量

        ? 多層膜解析

        ? 光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

        產品型號:OPTM 系列
        更新時間:2025-06-24
        廠商性質:生產廠家
        訪問量:7668
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        OPTM 系列顯微分光膜厚儀

         

        •  使用顯微光譜法在微小區域內通過絕.對反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數分析。

         

        •  可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了 即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數的軟件。

         

        •  頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

         

        •  通過顯微光譜法測量高精度絕.對反射率(多層膜厚度,光學常數)

         

        •  1點1秒高速測量

         

        •  顯微分光下廣范圍的光學系統(紫外至近紅外)

         

        •  區域傳感器的安全機制

         

        •  易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數分析

         

        •  獨立測量頭對應各種inline客制化需求

         

        •  支持各種自定義

         

        測量項目:

         

        •  絕.對反射率測量

         

        •  多層膜解析

         

        •  光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

         

         

        OPTM 系列顯微分光膜厚儀

        型號 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
        波長范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
        膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
        測定時間 1秒 / 1點
        光斑大小 10μm (小約5μm)
        感光元件 CCD InGaAs
        光源規格 氘燈+鹵素燈 鹵素燈
        電源規格 AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規格)
        尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體 部分)
        重量 約 55kg(自動樣品臺規格之主體部分)

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